水資源管理:
【製程節水】 為降低用水量及減少環境負荷,亞科於2021年經工程人員評估,全面簡化晶圓製造過程中,濕製程作業流程,並重新檢討各作業用水量之合理性,有效將濕製程用水量減少45%,降低生產時間53.13%,每日約可減少1.1噸廢水量,每年可減少約400噸自來水使用。
【冷卻水回收使用】 透過盤查機台溫度狀況,了解其中製程冷卻水熱消耗較低之機台用水,將其冷卻水回收使用,每日約可減少30CMD廢水量,每年可減少約10,950噸自來水使用。
10年水資源節用方案與效益一覽表
類別 | 專案名稱 | 投入經費(萬元) | 完成日期 | 減少用水量(公噸/年) | 減少CO2排放量(公噸CO2/年)
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節水 | 製程節水專案 | 0 | 110年09月 | 400 | 0.0608
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回收再利用 | 冷卻水回收使用 | 2 | 110年09月 | 10,950 | 1.6644
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總計 | 2 | - | 11,350 | 1.7252
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【切割水回收】 亞昕於2021年進行晶圓製程切割廢水回收專案,一年可省下13%水費。藉由水回收系統,將產線中達一定水質之生產用水進行回收再利用,主要針對用水量較大之製程,透過回收次級水並再進行處理,讓公司整體內部水循環達到一定標準,藉此降低原水之供應量,達到大幅降低水資源之目的。 亦可延長純水再生時間以延長純水系統再生時間,可減少再生次數,降低廢水排放量。
切割廢水回收統計表
月份 | 9 | 10 | 11 | 12 | 1 | 2 | 3 | 合計
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廢水量(噸) | 8,889 | 7,836 | 7,426 | 6,842 | 6,968 | 8,044 | 7,549 | 53,554
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回收水(噸) | 1,478 | 668 | 676 | 854 | 1,027 | 1,078 | 1,075 | 6,856
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回收比例 | 17% | 9% | 9% | 12% | 15% | 13% | 14% | 13%
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切割水回收系統
近三年用水量比較
項目 | 2019年 | 2020年 | 2021年 | 2022年
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用水量(噸) | 109,421 | 113,064 | 113,408 | 81,306
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單位產品用水量(噸/片) | 0.47 | 0.46 | 0.38 | 0.38
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近三年廢水量比較
項目 | 2019年 | 2020年 | 2021年 | 2022年
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廢水量(噸) | 90,700 | 91,032 | 93,299 | 69,988
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單位產品廢水量(噸/片) | 0.39 | 0.37 | 0.31 | 0.33
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